當(dāng)前位置：首頁 > 技術(shù)文章
位移傳感器作為工業(yè)自動化與精密制造的核心組件，其非接觸式高分辨率近距離測量技術(shù)正推動制造業(yè)向智能化、高精度方向演進(jìn)?；陔娙?、激光、電磁等原理的非接觸式傳感器，通過消除機(jī)械磨損與環(huán)境干擾，實(shí)現(xiàn)了亞微米級位移測量，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體加工、航空航...
橢圓偏振儀作為現(xiàn)代材料表征的重要工具，通過光與物質(zhì)的相互作用，為薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)的精確測量提供了特殊的解決方案。這種非破壞性測量技術(shù)能夠解析納米級薄膜的特性，在半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜和材料科學(xué)研究中發(fā)揮著關(guān)鍵作用。橢圓偏振測量的核心原理基于偏振光與薄膜樣品相互作用后偏振狀態(tài)的改變。當(dāng)一束已知偏振狀態(tài)的單色光以特定角度入射到樣品表面時，會經(jīng)歷反射和折射過程。薄膜-基底系統(tǒng)的多層結(jié)構(gòu)會改變光的振幅和相位，這種改變可以通過橢偏參數(shù)Ψ和Δ來量化描述?，F(xiàn)代橢圓偏振儀采用旋轉(zhuǎn)分析器或光彈性調(diào)...
在眾多對振動敏感的實(shí)驗(yàn)和工業(yè)應(yīng)用中，主動隔振臺宛如一位可靠的“守護(hù)者”，默默守護(hù)著精密設(shè)備免受外界振動的干擾，而其水平要求的好壞，更是至關(guān)重要。從減振原理來看，主動隔振臺需要水平放置來確保最佳的工作效果。當(dāng)外部振動源產(chǎn)生振動時，設(shè)備通過感知振動信號，并快速產(chǎn)生與外來振動反向的力，以抵消和減弱振動的影響。如果水平度不佳，就如同建在傾斜地基上的高樓，整體結(jié)構(gòu)會失衡，導(dǎo)致系統(tǒng)不能準(zhǔn)確地感知和抵消振動，從而影響隔振效果，使精密設(shè)備仍然面臨受到干擾的風(fēng)險(xiǎn)。對于一些高精度的實(shí)驗(yàn)儀器，如電...
在半導(dǎo)體制造的自動化產(chǎn)線中，晶圓水平儀是確保晶圓表面平整度、提升工藝穩(wěn)定性的關(guān)鍵設(shè)備。它通過高精度傳感器與智能算法，實(shí)時測量晶圓表面起伏，并將數(shù)據(jù)反饋至制造設(shè)備，形成閉環(huán)質(zhì)量控制。晶圓水平儀的核心優(yōu)勢在于其動態(tài)校準(zhǔn)能力。以WaferSense無線水平儀為例，其±0.03°的精度可支持150mm-300mm晶圓的快速校準(zhǔn)，并適應(yīng)真空或常態(tài)環(huán)境。設(shè)備內(nèi)置HEPA過濾器，避免顆粒污染，同時支持藍(lán)牙無線傳輸，與產(chǎn)線系統(tǒng)無縫對接，縮短工具配置時間。在自動化產(chǎn)線中，晶圓水平...
在現(xiàn)代精密工程和科學(xué)研究中，主動隔振臺扮演著至關(guān)重要的角色。這種高科技設(shè)備通過精密的傳感器網(wǎng)絡(luò)和先進(jìn)的控制算法，為精密儀器創(chuàng)造了一個近乎靜止的工作環(huán)境，使其能夠在納米尺度上進(jìn)行精確操作和測量。主動隔振臺的核心在于其特殊的反饋控制機(jī)制。系統(tǒng)由三個主要部分組成：高靈敏度振動傳感器、實(shí)時控制單元和電磁執(zhí)行器。振動傳感器能夠檢測到從0.1Hz到數(shù)百Hz的微小振動，精度可達(dá)納米級。這些傳感器通常采用地震儀原理或激光干涉技術(shù)，能夠精確捕捉來自地面、空氣和建筑物結(jié)構(gòu)的振動信號?？刂茊卧侵?..
在當(dāng)今科技飛速發(fā)展的時代，對于精密測量的需求日益增長，膜厚測量作為眾多領(lǐng)域的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，對測量設(shè)備的精度、可靠性和靈活性提出了更高的要求。而Thetametrisis膜厚測量儀FR-pRo作為一款模塊化和可擴(kuò)展平臺的光學(xué)測量設(shè)備，正以其特殊的優(yōu)勢在市場中嶄露頭角。膜厚測量儀FR-pRo的模塊化設(shè)計(jì)堪稱一大亮點(diǎn)。這種設(shè)計(jì)理念使得設(shè)備的各個組件可以根據(jù)具體的應(yīng)用需求進(jìn)行自由組合和調(diào)整。無論是測量不同材質(zhì)的薄膜厚度，還是應(yīng)對各種復(fù)雜的測量環(huán)境，都能輕松應(yīng)對。用戶無需為了一次特定的測量...