當(dāng)前位置：首頁 > 技術(shù)文章
位移傳感器作為工業(yè)自動化與精密制造的核心組件，其非接觸式高分辨率近距離測量技術(shù)正推動制造業(yè)向智能化、高精度方向演進(jìn)?；陔娙?、激光、電磁等原理的非接觸式傳感器，通過消除機(jī)械磨損與環(huán)境干擾，實(shí)現(xiàn)了亞微米級位移測量，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體加工、航空航...
硅片作為半導(dǎo)體、光伏及微電子等領(lǐng)域的核心材料，其厚度精度直接影響產(chǎn)品質(zhì)量與性能。不同應(yīng)用場景對厚度測量提出多樣化需求，催生出一系列精準(zhǔn)高效的測量技術(shù)。本文結(jié)合技術(shù)原理與實(shí)際應(yīng)用場景，系統(tǒng)闡述多種硅片厚度測量方法。一、接觸式測量：機(jī)械與壓電技術(shù)的結(jié)合1.機(jī)械測微計(jì)法通過螺旋測微器或千分尺對硅片進(jìn)行接觸式測量，操作簡單直觀。然而受限于測量點(diǎn)數(shù)量，僅適用于抽檢，且可能因壓力導(dǎo)致表面微損傷，適用于低精度要求的場合。2.電感測微儀利用電感線圈對距離變化的敏感性，通過接觸式測頭檢測厚度變...
在半導(dǎo)體制造、光伏產(chǎn)業(yè)等精密制造領(lǐng)域，硅片厚度是影響芯片性能、太陽能電池效率的核心參數(shù)之一。硅片厚度測量儀作為一種高精度檢測工具，其正確的操作方法直接關(guān)系到測量數(shù)據(jù)的可靠性。本文從基礎(chǔ)到進(jìn)階，系統(tǒng)解析測量儀的操作要點(diǎn)，助力工程師快速掌握這一關(guān)鍵技術(shù)。一、測量前的準(zhǔn)備工作1.清潔與環(huán)境控制①使用無塵布和酒精擦拭硅片表面，避免指紋、油漬等污染影響測量精度。②確保實(shí)驗(yàn)室溫度穩(wěn)定在（23±2）℃、濕度≤60%，防止熱脹冷縮導(dǎo)致誤差。2.設(shè)備預(yù)熱與校準(zhǔn)①開機(jī)后等待10-1...
3D劃痕儀作為材料表面力學(xué)性能分析的核心工具，其核心功能在于通過精密力學(xué)加載與三維形貌成像的協(xié)同作用，實(shí)現(xiàn)涂層附著力、表面硬度等參數(shù)的量化評估。本文從機(jī)械結(jié)構(gòu)、信號采集與數(shù)據(jù)處理三方面解析其工作原理。一、機(jī)械結(jié)構(gòu)：多軸聯(lián)動與模塊化設(shè)計(jì)的協(xié)同3D劃痕儀采用高精度XYZ三軸運(yùn)動平臺，其中Z軸配備閉環(huán)控制加載系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)恒定力、遞增力或臺階增力加載模式。劃痕頭通過壓電陶瓷驅(qū)動器提供亞納米級位移精度，加載力范圍覆蓋1000mN至200N，滿足從納米涂層到宏觀材料的測試需求。設(shè)備支持快...
在現(xiàn)代半導(dǎo)體制造和微納加工領(lǐng)域，光刻機(jī)是實(shí)現(xiàn)精密圖形轉(zhuǎn)移的關(guān)鍵設(shè)備。其中，接觸式光刻機(jī)以其特殊的工藝和高精度，在芯片制造等行業(yè)發(fā)揮著重要作用。那么，它的精度究竟有多高呢？接觸式光刻機(jī)的精度通常以線寬和分辨率來衡量。線寬指的是能夠清晰制造出的最小線條寬度，而分辨率則是光刻機(jī)能夠分辨和復(fù)制出的最小特征尺寸。一般來說，高級的設(shè)備能夠達(dá)到亞微米甚至納米級別的精度。在早期，隨著技術(shù)的發(fā)展，設(shè)備的線寬精度從幾十微米逐步提升到了微米級別。這一進(jìn)步使得芯片制造能夠在更小的尺寸上集成更多的電路...
在材料科學(xué)、微電子制造以及精密機(jī)械加工等多個(gè)領(lǐng)域，對表面微結(jié)構(gòu)的研究和分析至關(guān)重要。其中，凹坑的平均深度是一個(gè)關(guān)鍵參數(shù)，對于評估材料性能、產(chǎn)品質(zhì)量等具有重要意義。而三維形貌儀作為一種先進(jìn)的測量分析儀器，在計(jì)算凹坑平均深度方面發(fā)揮著不可替代的作用。三維形貌儀能夠以較高的分辨率和精度獲取物體表面的三維形貌信息。其工作原理通常基于光學(xué)干涉、激光掃描或其他高精度探測技術(shù)。在測量過程中，儀器會發(fā)射出特定的探測信號，當(dāng)信號照射到物體表面時(shí)，不同的反射強(qiáng)度和相位變化會反映出表面的微觀幾何特...